男,1979年10月出生,浙江义乌人,教授、博士生导师,现任华中科技大学能源与动力工程学院副院长,分管科研,兼任中国工程热物理学会多相流专业委员会委员、湖北菲利华石英玻璃股份有限公司科技副总。中国科学技术大学学士(2002)和硕士(2005),美国纽约州立大学石溪分校博士(2008),美国劳伦斯伯克利国家实验室博士后(2010),华中科技大学能源学院副教授(2011)、教授(2014),湖北省孝感安陆市副市长(2019.09-2020.12,挂职)。从事复杂热物理过程工艺优化和装备设计,包括半导体合成、晶体生长、特种石英玻璃熔制、3D喷墨打印等工艺和装备。在Journal of Fluid Mechanics、Journal of Crystal Growth等国际期刊发表SCI论文78篇,授权发明专利10项,软件著作权3项,出版专著《晶体生长中输运现象及晶体缺陷》(科学出版社,2019)。
(1)微流控:液滴动力学及在3D喷墨打印系统应用、碳化硅等陶瓷膜、陶瓷构建3D打印制造 (2)设备与工艺:化学气相沉积、各类晶体生长炉、先进半导体设备、高纯石英玻璃等设备和工艺优化 (3)热控与热安全:电池、半导体芯片热调控
(1)微流控:液滴动力学及在3D喷墨打印系统应用、碳化硅等陶瓷膜、陶瓷构建3D打印制造 (2)设备与工艺:化学气相沉积、各类晶体生长炉、先进半导体设备、高纯石英玻璃等设备和工艺优化 (3)热控与热安全:电池、半导体芯片热调控
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